14.02.2012

Bildverarbeitung steigert Qualität von Solarwafern

Durch spezielle Beleuchtungen der Vision & Control GmbH in Verbindung mit einzigartigen Algorithmen können selbst kleinste Defekte auf Wafern sichtbar gemacht werden. Dadurch wird nicht nur die Qualität der Wafer gesteigert, sondern auch Kosten für Nacharbeiten gesenkt.

Abbildung 1

Abbildung 2

Abbildung 3

Abbildung 1: Dunkelfeld-Anordnung

Bei der Dunkelfeld - Anordnung (Abbildung 1) werden minimale Störungen auf der Oberfläche sichtbar. Durch die Anordnung von Beleuchtung und Kamera, wird das Licht so reflektiert, dass bei einem fehlerfreien Wafer kein Licht auf den Bildaufnehmer fällt. Eine Störung wiederum wird durch  Streuung als heller Bereich im Bild dargestellt. So können Störungen sicher erkannt werden, die im Bereich der Auflösungsgrenze der Kamera liegen.

Abbildung 2: Hellfeldanordnung

In der Hellfeld-Anordnung wird das Licht so reflektiert, dass es bei fehlerfreien Wafern auf die Kamera trifft. Erhöhungen auf dem Wafer, werden als Schatten abgebildet.

Weitere Infos finden Sie bei unserem Partner Buchanan Systems.